一般三坐標校準保養(yǎng)過程主要包括以下幾部分：
1、檢查電腦和有關備份文件；
2、清理三坐標導軌；
3、檢查外罩；
4、檢查所有的氣路系統(tǒng)，更換老化的氣管；
5、檢查氣體過濾機構，并對之進行基本保養(yǎng)和維護；
6、檢查z軸安全保護裝置，檢查氣動平衡機構；
7、檢查和清洗氣浮軸承；
8、檢查調整電氣和機械行程開關；
9、檢查和調整傳動機構，并做常規(guī)保養(yǎng)；
10、檢查和調整測量機水平；
11、檢查和調整三坐標橫梁與xY工作平面的平行；
12、最好用激光干涉儀檢測和補償測量機各軸誤差。
（來源：測量俱樂部）
